스페셜 세션 (한국어 세션)
제 8회 ICMAP 학회에서 국내 산학연 반도체 관련 플라즈마 장비 및 공정 분야의 교류를 확대와 미래 기술 대비를 위한 논의의 자리 마련하였으니 많은 관심 부탁 드립니다! (Current Issues, Technical Trends, R&D Needs, Connectivity for the Future)
※ 코로나19 사회적 거리두기 단계에 따라, 온라인 스트리밍(Zoom)으로 전환되었습니다.
※ 인원제한으로 인해 학회 등록하신 분에 한하여 사전 신청할 수 있습니다.
발표 일시 : 2021년 1월 19일 (화), 오후 1시 ~
발표 장소 : 온라인 스트리밍 (Zoom)
등 록 비 : 일반 15만원 / 학생 5만원
등록 방법 : 온라인 등록시스템을 통해 신청 가능 / 결제는 추후 안내 예정
발표 연사
| 연구소 | 윤정식 박사 (KFE) | 데이터기반의 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 |
|---|---|---|
| 이효창 박사 (KRISS) | 플라즈마 정밀 측정 기술 및 TTTM Solution | |
| 학교 | 임연호 교수 (전북대학교) | Toward Predictable 3D Topography Simulation of the Emerging Plasma Processes |
| 산업체 | 양원석 박사 (삼성전자) | 공정별 Wafer Edge Risk, 그리고 소-부-장 발전 방향 제언 |
| 김성제 박사 (SEMES) | Challenges and Future Prospects in Plasma Etching Processes | |
| 박영우 CTO (TEL) | Plasma Enhanced Technologies for the Future Generations | |
| 신형주 상무 (원익 IPS) | Challenges and Opportunities for Plasma Deposition Equipments Technology |
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